2018-11-15 16:02:47
空气交换器简介: KJ空气交换器用于玻璃熔窑的空气换向,其结构形式为闸板式与翻板式。闸板与闸架均由中硅耐热球墨铸铁制成,具有工作温度高,(750℃),勿需冷却即可连续工作,使用寿命长等特点全氧窑炉空气交换器,传动方式分为电动式、气动式。主要型号有:KJ1.6、KJ2.4、KJ4.0。

1.1、研磨抛光平台
研磨抛光试验在PHL-350型平面高速研磨抛光系统上进行,为了提高研磨盘的平面度,减小行为误差,通常在加工之前将研磨盘两两互研,并用刀口尺检查研磨盘的平面度闸板式空气交换器,以保证被加工工件的表面质量。
1.2、抛光垫
抛光垫在CMP过程中具有贮存抛光液并把它们运送到工件的整个加工区域、维持抛光所需的机械和化学环境、传递材料去除所需的机械载荷等作用[1]。因此煤气交换器,本文采用粒度为W14的金刚石亲水性FAP作为抛光垫,以实现高质低成本的CMP加工具有重要的意义。
祁世田
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